开的铝合金门,上方挂着一块白底蓝字的标识牌“芯片车间(洁净区),非授权人员禁止入内”。 林默伸手推开侧面的小门,经过风淋室,熟练地踩上粘尘垫,双臂平举转了两圈,让高速气流把身上可能附着的灰尘吹扫干净。 然后换上鞋套,推开第二道门,走进车间内部。 整层楼面被打通成一个完整的洁净区域,地面铺设了浅灰色的防静电水磨石。 头顶的送风口每隔两米一个,正以低速稳定的气流,向下输送经过高效过滤的洁净空气。 靠墙一侧排着一列浅蓝色的设备机柜,柜体侧面的指示灯在有序地闪烁。 车间正中是光刻机的工作平台,一台灰白色的步进式投影光刻机占据了大约四平方米的地面,机体表面贴着一行日文铭牌,旁边连着复杂的冷却管路和真空管线。 ...